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石墨坩堝在半導(dǎo)體制造中的應(yīng)用

發(fā)布作者:jcadmin      發(fā)布時(shí)間:2024年06月12日

      在半導(dǎo)體制作中,石墨坩堝主要用于傳輸和維護(hù)半導(dǎo)體元件,還能夠有效地傳遞熱量和電流。經(jīng)過(guò)石墨坩堝底部的手柄和三個(gè)固定支架,能夠?qū)⒋罅康陌雽?dǎo)體元件放置在石墨坩堝內(nèi)部,與石墨坩堝嚴(yán)密接觸,從而完成高效的熱量和電流傳遞。
  在半導(dǎo)體制作工藝中,石墨坩堝也可用作抱負(fù)的熱導(dǎo)體和電導(dǎo)體。石墨坩堝具有高導(dǎo)熱性和高導(dǎo)電性,因而能夠?qū)⑵鞑耐獠康臒崃亢碗娏鱾鲗?dǎo)到石墨坩堝內(nèi)部的半導(dǎo)體元件,有效地加熱半導(dǎo)體元件并控制電流。

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石墨坩堝